近年來因廠區擴建,新增機台設備,故各項原物料/ 燃料使用量呈上升趨勢,2021 年能源總消耗量約2,232,751 十億焦耳。有鑒於此,華邦持續推行節電措施2021 年新增8 件,並於中科廠導入ISO 50001 能源管理系統,節電量較前一年增加約23,137 十億焦耳。
2021 年單位產品能源消耗量指標生產12 吋晶圓每層光罩平均能源消耗量79.3 百萬焦耳與2020 年80.1 百萬焦耳相比,下降約1.1%,未來持續推動節能計畫減輕環境負擔。
目標達成情形
指標與目標 |
2021 年目標 |
2021 年達成狀況 |
單位產品用電量(百萬焦耳/層-晶圓光罩) |
≦ 80.1 |
79.3 |
註 基準年為 2020 年;節電措施節電量估算依「能源用戶節約能源查核制度申報表」要求
歷年節電成效
節電統計 / 年份 | 2019 | 2020 | 2021 |
能源總消耗量(十億焦耳) | 2,119,538 | 2,205,221 | 2,232,751 |
用電量(百萬度) | 528 | 546 | 552 |
總用電量(十億焦耳) | 1,902,182 | 1,966,533 | 1,988,490 |
單位用電量(百萬焦耳 / 層 - 晶圓光罩) | 86.9 | 80.1 | 79.3 |
總用電量之能源消耗占比 (%) | 89.7 | 89.2 | 89.1 |
天然氣用量(萬立方公尺) | 577 | 636 | 654 |
總天然氣用量(十億焦耳) | 215,526 | 236,788 | 242,327 |
單位天然氣用量(百萬焦耳 / 層 - 晶圓光罩) | 9.8 | 9.7 | 9.7 |
總天然氣之能源消耗占比 (%) | 10.2 | 10.7 | 10.9 |
柴油用量(立方公尺) | 52 | 54 | 55 |
總柴油用量(十億焦耳) | 1,829 | 1,899 | 1,934 |
單位柴油用量(百萬焦耳 / 層 - 晶圓光罩) | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
總柴油之能源消耗占比 (%) | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
註:
- 華邦未使用再生能源。
- 能源使用量已換算為焦耳。電力 1 度(千瓦 - 小時)=3,600 千焦耳、天然氣 1 立方公尺 =8,914 千卡、柴油 1 公升=8,400 千卡、1 卡 =4.184 焦耳。
- 使用的標準、方法學、假設、及 / 或計算工具:能源消耗量皆來自收費收據之測量值、天然氣月耗用結算表及領料單 / 料號別材料庫存異動資料檢核表並無任何估算值。
- 所用之轉換係數來源:除天然氣以廠商提供熱值計算外其餘皆以環保署溫室氣體排放係數管理表 6.0.4 版計算。
2021 年節能措施與績效
類型 | 節能 / 減碳專案名稱 | 節能量(度) | 溫室氣體減量(公噸 CO2e) |
照明節能改善 | CUB 棟低壓電氣室更換 RF 感應燈管節能改善 | 8,970 | 5 |
FAB-B 2F 照明感應燈管節能評估 | 470,032 | 236 | |
廠務設施節能改善 |
LINK 棟電氣室電力轉供變壓器運轉溫度過高節能改善 | 262,800 | 132 |
FAB-C MAU 運轉節能 | 178,719 | 90 | |
UPW 系統 AC+2B3T 運轉節水節能再精進 | 132,000 | 66 | |
H2 純化器再生延長節能改善 | 106,445 | 53 | |
廢水廠離心 PUMP 馬達提升效率 | 11,845 | 6 | |
#1 瓦斯鍋爐與電熱鍋爐運轉負載調配 | 5,256,000 | 2,639 |
能源使用情形及單位能源強度
華邦電子建廠即以節能為設計規劃,以廠務系統節能為主,透過資料採集與監控系統(Supervisory Control And Data Acquisition, SCADA)進行能源使用監控及數據分析,以期達到能源使用最佳化管理。華邦電子更持續推動各項節能措施,調整原物料、燃料的使用參數與耗用量、推動節能計畫、設定單位排放強度目標,且定期檢討全公司減量績效,以達到最適化與最少化要求。
中期目標 | 2023年單位產品用電量不高於2020年(≦ 22.26 度/layer) |
2021年目標 | 單位產品用電量不高於2010年(≦ 22.99 度/layer) |
2021年成果 | 單位產品用電量22.01 度/layer |

華邦電子積極配合政府倡導企業溫室氣體盤查登錄作業,落實廠內溫室氣體管理機制,使用營運控制權法,導入ISO 14064-1,全面推動溫室氣體排放量盤查與查證,設定減量目標、尋求減量機會,並提出改善計劃,逐步提升溫室氣體減量績效。
另一方面,華邦自2000 年起參與臺灣及世界半導體協會全氟碳化物(Perfluorocarbons, 以下簡稱PFCs)溫室氣體排放減量計畫,透過製程調整、替代氣體使用、設置含氟碳化物(Fluorocarbons, 以下簡稱FCs)削減設備,同時取得環保署先期專案減量額度,減少溫室氣體排放,降低風險衝擊提高華邦適應氣候變化的能力與產業競爭力,創造機會,亦為因應未來溫室氣體進入總量管制提前因應與準備。
本公司自2006年起,歷年由英國標準協會(BSI)完成盤查驗證,依據 盤查結果,2020年範疇一排放量約53,271公噸二氧化碳當量,範疇二排放量約278,046公噸二氧化碳當量;2021年範疇一排放量約38,760公噸二氧化碳當量,範疇二排放量約277,284公噸二氧化碳當量。
中期目標 | 2023年單位產品溫室氣體排放量不高於2020年(≦ 13.5 kg CO2e/layer) |
2021年目標 | 單位產品溫室氣體排放量較2010年降低 8 %(≦ 15.1 kg CO2e/layer) |
2021年成果 | 單位產品溫室氣體排放量12.6 kg CO2e/layer |
華邦溫室氣體之主要排放源為製程上所使用的全氟化物氣體(PFCs)與電力,主要推動之PFC減量計劃及措施如下:
- 機台之使用率及其防治設備之削減率量測與改善
- 執行PFCs氣體機台之使用量調查評估
- 新型之PFCs氣體處理防治設備選用評估
