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能源與溫室氣體管理

近年來因廠區擴建,新增機台設備,故各項原物料/ 燃料使用量呈上升趨勢,2021 年能源總消耗量約2,232,751 十億焦耳。有鑒於此,華邦持續推行節電措施2021 年新增8 件,並於中科廠導入ISO 50001 能源管理系統,節電量較前一年增加約23,137 十億焦耳。

2021 年單位產品能源消耗量指標生產12 吋晶圓每層光罩平均能源消耗量79.3 百萬焦耳與2020 年80.1 百萬焦耳相比,下降約1.1%,未來持續推動節能計畫減輕環境負擔。

目標達成情形

指標與目標

2021 年目標

2021 年達成狀況

單位產品用電量(百萬焦耳/層-晶圓光罩)

≦ 80.1

79.3

註 基準年為 2020 年;節電措施節電量估算依「能源用戶節約能源查核制度申報表」要求

歷年節電成效

 

節電統計 / 年份 2019 2020 2021
能源總消耗量(十億焦耳) 2,119,538 2,205,221 2,232,751
用電量(百萬度) 528 546 552
總用電量(十億焦耳) 1,902,182 1,966,533 1,988,490
單位用電量(百萬焦耳 / 層 - 晶圓光罩) 86.9 80.1 79.3
總用電量之能源消耗占比 (%) 89.7 89.2 89.1
天然氣用量(萬立方公尺) 577 636 654
總天然氣用量(十億焦耳) 215,526 236,788 242,327
單位天然氣用量(百萬焦耳 / 層 - 晶圓光罩) 9.8 9.7 9.7
總天然氣之能源消耗占比 (%) 10.2 10.7 10.9
柴油用量(立方公尺) 52 54 55
總柴油用量(十億焦耳) 1,829 1,899 1,934
單位柴油用量(百萬焦耳 / 層 - 晶圓光罩) 0.1 0.1 0.1
總柴油之能源消耗占比 (%) 0.1 0.1 0.1

註:

 

2021 年節能措施與績效

 

類型 節能 / 減碳專案名稱 節能量(度) 溫室氣體減量(公噸 CO2e)
照明節能改善 CUB 棟低壓電氣室更換 RF 感應燈管節能改善 8,970 5
FAB-B 2F 照明感應燈管節能評估 470,032 236
廠務設施節能改善




LINK 棟電氣室電力轉供變壓器運轉溫度過高節能改善 262,800 132
FAB-C MAU 運轉節能 178,719 90
UPW 系統 AC+2B3T 運轉節水節能再精進 132,000 66
H2 純化器再生延長節能改善 106,445 53
廢水廠離心 PUMP 馬達提升效率 11,845 6
#1 瓦斯鍋爐與電熱鍋爐運轉負載調配 5,256,000 2,639

 

能源使用情形及單位能源強度

 

華邦電子建廠即以節能為設計規劃,以廠務系統節能為主,透過資料採集與監控系統(Supervisory Control And Data Acquisition, SCADA)進行能源使用監控及數據分析,以期達到能源使用最佳化管理。華邦電子更持續推動各項節能措施,調整原物料、燃料的使用參數與耗用量、推動節能計畫、設定單位排放強度目標,且定期檢討全公司減量績效,以達到最適化與最少化要求。

中期目標 2023年單位產品用電量不高於2020年(≦ 22.26 度/layer)
2021年目標 單位產品用電量不高於2010年(≦ 22.99 度/layer)
2021年成果 單位產品用電量22.01 度/layer

能源管理

華邦電子積極配合政府倡導企業溫室氣體盤查登錄作業,落實廠內溫室氣體管理機制,使用營運控制權法,導入ISO 14064-1,全面推動溫室氣體排放量盤查與查證,設定減量目標、尋求減量機會,並提出改善計劃,逐步提升溫室氣體減量績效。

另一方面,華邦自2000 年起參與臺灣及世界半導體協會全氟碳化物(Perfluorocarbons, 以下簡稱PFCs)溫室氣體排放減量計畫,透過製程調整、替代氣體使用、設置含氟碳化物(Fluorocarbons, 以下簡稱FCs)削減設備,同時取得環保署先期專案減量額度,減少溫室氣體排放,降低風險衝擊提高華邦適應氣候變化的能力與產業競爭力,創造機會,亦為因應未來溫室氣體進入總量管制提前因應與準備。

本公司自2006年起,歷年由英國標準協會(BSI)完成盤查驗證,依據 盤查結果,2020年範疇一排放量約53,271公噸二氧化碳當量,範疇二排放量約278,046公噸二氧化碳當量;2021年範疇一排放量約38,760公噸二氧化碳當量,範疇二排放量約277,284公噸二氧化碳當量。

中期目標 2023年單位產品溫室氣體排放量不高於2020年(≦ 13.5 kg CO2e/layer)
2021年目標 單位產品溫室氣體排放量較2010年降低 8 %(≦ 15.1 kg CO2e/layer)
2021年成果 單位產品溫室氣體排放量12.6 kg CO2e/layer

華邦溫室氣體之主要排放源為製程上所使用的全氟化物氣體(PFCs)與電力,主要推動之PFC減量計劃及措施如下:

溫室氣體管理
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