中期目标 | 单位产品用水量至2023年维持 ≦ 150 公升/layer、全厂用水回收率至2023年维持 ≧ 80 % |
2021年目标 | 单位产品用水量 ≦ 150 公升/layer、全厂用水回收率 ≧ 80 % |
2021年成果 | 单位产品用水量131 公升/layer、全厂用水回收率81 % |
华邦电子建厂即以节能为设计规划,以厂务系统节能为主,透过数据采集与监控系统(Supervisory Control And Data Acquisition, SCADA)进行能源使用监控及数据分析,以期达到能源使用优化管理。华邦电子更持续推动各项节能措施,调整原物料、燃料的使用参数与耗用量、推动节能计划、设定单位排放强度目标,且定期检讨全公司减量绩效,以达到最适化与最少化要求。

华邦电子供水及回收水系统管路于建厂时期即以节水考虑进行设计,制程及非制程用水均具备循环回收系统设备。采用分布式控制系统与厂务中央监控系统(Facility Management Control System, FMCS)配合,实时监控全厂各用水点之用水情况,依每日、每周、每月进行合理化分析,随时针对用水量订定改善计划并检讨执行成效。不仅以符合法规为基本要求,更务求每一滴水发挥最大功效,减少污水排放。此外,由上到下推广节水运动,并积极参加科学园区管理局及经济部水利署相关节水管理辅导及评鉴,以达绿色环保企业之要求。
华邦电子工厂内设有废水处理专区,将晶圆制造过程产生之一般酸碱废水、氟系废水、晶圆研磨废水、氨氮废水、氢氧化四甲铵废水、铜系废水、含双氧水废水及员工产生之生活污水…等,经过厂内各式废水处理设施处理后排入科学园区污水处理厂,处理至符合于放流水标准后排放。
