(新竹讯)华邦电子股份有限公司于今日举办「晶圆厂超纯水系统单元再生废水回收」成果说明暨示范观摩会。此系统设备系在新竹科学工业园区管理局部份经费补助下，由华邦电子公司厂务工程四部纯水系统课成员，经两年余之资料收集与设计规划，委由亚美先进科技股份有限公司建造施工；成功地在华邦电子力行厂区运转，每天平均回收200吨以上废水经处理再利用以减少其排放量。该系统设备已有效地回收再利用以解决现今晶圆厂超纯水系统产生大量再生废水的问题，符合减废回收的环保政策。
科学工业园区管理局副局长董良生博士表示，园区半导体产业蓬勃发展，对国内经济发展贡献甚大。但基于兼顾经济发展与环境保护，管理局特于90年度奖助华邦电子进行晶圆厂超纯水系统再生废水回收创新技术研究发展计画，建立第一座应用于晶圆厂超纯水系统再生废水回收设备，减少超纯水系统再生废水排放量，善尽环境保护责任。为推广此研究成果，使科学工业园区的业者能改善其超纯水系统废水问题，举行成果说明暨示范观摩会，邀请实际执行研究计画的华邦电子公司，针对此超纯水系统再生废水回收设备，由设计、验证、实务应用等方面做深入的探讨和分享，并提供相关技术资料展示及实际工厂观摩。
华邦电子公司总经理章青驹博士表示；为了持续保持产品的竞争优势，华邦每年投入公司营业额一成以上的经费做为研究发展用途，秉持着永续发展及绿色环保政策将研究发展的脚步跨入至环保与污染防治领域。一般晶圆厂超纯水系统再生废水多与晶圆生产的制程废水经处理系统处理合格后排放至园区污水厂，但该再生废水中有部份的水质符合回收处理再利用条件，因此于2000年成立项目小组进行研究规划；希望建立回收水处理技术来降低晶圆生产所需消耗的水量，解决超纯水系统再生废水量及水资源缺乏的问题，除作为华邦新建晶圆厂时规划参考外，更希望能提供给半导体相关同业；共同为节省有限的水资源努力。
厂务工程处副处长陈金龙表示，超纯水系统系利用离子交换树脂设备来纯化水质提供晶圆(wafer)生产洗净用水，因离子交换树脂运转到达一段时间后需使用化学药剂及大量洗净水再生。台湾地区降雨丰沛，然因河川坡陡且流短，再加上雨量分布在时空上皆不均匀，水已不再是取之不歇的资源。由厂务工程四部纯水系统课成立节约用水及减废回收项目小组，主管叶斯馨副经理担任该项目负责人。经小组两年余努力使华邦力行厂区在节约用水及减废回收上皆有卓越成就，本计划执行可为华邦每年节省约9,365,000元以上。
环境保护为全世界国家追求永续发展之主要目标之一，超纯水系统再生废水回收技术除了能使国内业者多一个减废回收并符合法规要求的选择外，对于政府所倡导环境保护、永续经营的理念及提升产品国际形象的政策，亦是一个相当良好的示范。
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