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華邦電子「晶圓廠超純水系統單元再生廢水回收」成果說明暨示範觀摩會

(新竹訊)華邦電子股份有限公司於今日舉辦「晶圓廠超純水系統單元再生廢水回收」成果說明暨示範觀摩會。此系統設備係在新竹科學工業園區管理局部份經費補助下,由華邦電子公司廠務工程四部純水系統課成員,經兩年餘之資料收集與設計規劃,委由亞美先進科技股份有限公司建造施工;成功地在華邦電子力行廠區運轉,每天平均回收200噸以上廢水經處理再利用以減少其排放量。該系統設備已有效地回收再利用以解決現今晶圓廠超純水系統產生大量再生廢水的問題,符合減廢回收的環保政策。

科學工業園區管理局副局長董良生博士表示,園區半導體產業蓬勃發展,對國內經濟發展貢獻甚大。但基於兼顧經濟發展與環境保護,管理局特於90年度獎助華邦電子進行晶圓廠超純水系統再生廢水回收創新技術研究發展計畫,建立第一座應用於晶圓廠超純水系統再生廢水回收設備,減少超純水系統再生廢水排放量,善盡環境保護責任。為推廣此研究成果,使科學工業園區的業者能改善其超純水系統廢水問題,舉行成果說明暨示範觀摩會,邀請實際執行研究計畫的華邦電子公司,針對此超純水系統再生廢水回收設備,由設計、驗證、實務應用等方面做深入的探討和分享,並提供相關技術資料展示及實際工廠觀摩。

華邦電子公司總經理章青駒博士表示;為了持續保持產品的競爭優勢,華邦每年投入公司營業額一成以上的經費做為研究發展用途,秉持著永續發展及綠色環保政策將研究發展的腳步跨入至環保與污染防治領域。一般晶圓廠超純水系統再生廢水多與晶圓生產的製程廢水經處理系統處理合格後排放至園區污水廠,但該再生廢水中有部份的水質符合回收處理再利用條件,因此於89年成立專案小組進行研究規劃;希望建立回收水處理技術來降低晶圓生產所需消耗的水量,解決超純水系統再生廢水量及水資源缺乏的問題,除作為華邦新建晶圓廠時規劃參考外,更希望能提供給半導體相關同業;共同為節省有限的水資源努力。

廠務工程處副處長陳金龍表示,超純水系統係利用離子交換樹脂設備來純化水質提供晶圓(wafer)生產洗淨用水,因離子交換樹脂運轉到達一段時間後需使用化學藥劑及大量洗淨水再生。台灣地區降雨豐沛,然因河川坡陡且流短,再加上雨量分佈在時空上皆不均勻,水已不再是取之不歇的資源。由廠務工程四部純水系統課成立節約用水及減廢回收專案小組,主管葉斯馨副經理擔任該專案負責人‧經小組兩年餘努力使華邦力行廠區在節約用水及減廢回收上皆有卓越成就,本計劃執行可為華邦每年節省約9,365,000元以上。

環境保護為全世界國家追求永續發展之主要目標之一,超純水系統再生廢水回收技術除了能使國內業者多一個減廢回收並符合法規要求的選擇外,對於政府所倡導環境保護、永續經營的理念及提升產品國際形象的政策,亦是一個相當良好的示範。



 

 

 


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